2017年12月19日，中国台湾桃园——作为市场领先的湿制程带领装备商，Manz亚智科技公布跨入半导体范畴，为面板级扇出型封装（FOPLP）供给各式相干出产装备解决方案，帮忙半导体系体例造商以光鲜明显的本钱优势提高产量。Manz亚智科技总司理兼显示器事业部主管林峻生暗示：“这是我们在与闻名半导体装备厂美商科林研发（Lam Research）合作成立合伙公司泰洛斯制造股分有限公司（Talus Manufacturing Ltd.）后，深切半导体行业的进一步行动。 这标记着Manz亚智科技将焦点手艺利用范畴积极加速向半导体范畴扩大渗入的里程碑。” 图一：Manz研发设计团队手艺领先，将手艺成功从显示器、印刷电路板财产转移，跨入半导体后段封装 基在在平面显示器和印刷电路板湿制程装备多年丰硕经验和制程手艺，Manz亚智科技为半导体财产之面板级扇出型封装供给化学湿制程、涂布和激光利用等出产装备解决方案，搭配Manz主动化整合系统，共同客户定制化规格需求，帮忙客户缩短产物开辟时程，并成立专属制程参数，使产物能尽快进入产物送样进而量产。 · 化学湿制程装备: 载板清洗机、光阻显影机、铜钛蚀刻机和光阻剥膜机。 · 涂布装备 : 采取狭缝式涂布手艺（slit nozzle coating），此涂布手艺已在TFT-LCD和触控面板财产普遍地利用，材料操纵率可达95%以上，搭配恰当光阻材料，涂布均一性可达1.5%之内。 · 激光相干装备 : Manz与多家德国激光射源和光学镜片厂商合作，供给包罗激光钻孔、激光切割和激光剥离（de-bounding）等装备，连系系统和制程整合的能力，为客户的非凡需求进行开辟制造。 图二：Manz 的涂布手艺已在TFT-LCD和触控面板财产普遍地利用，涂布均一性可达1.5%之内 图三：Manz 的涂布手艺均一性可达1.5%之内 最近几年来，智妙手机饰演着电子终端产物的主华体会体育app要成长动能，牵动全部产物供给链的改变，如扇出型封装手艺导入智妙手机的利用处置器即是此中一例。传统上手机利用处置器用覆晶堆叠封装手艺（Flip Chip Package on package）进行逻辑芯片和记忆体芯片堆叠，若改用扇出型封装手艺，因其底层逻辑芯片不需载板，整体封装即可节流20%以上厚度，合适智妙手机薄型化的趋向。扇出型封装依制程载具的分歧，可分为扇出型晶圆级封装和最近被普遍会商的扇出型面板级封装。在加快出产周期和下降本钱的斟酌下，扇出型面板级封装具有光鲜明显的本钱和效能优势（晶圆级封装制程面积利用率较低 85%，面板制程面积利用率 95%），也最先激发市场高度正视，封装年夜厂如韩国三星电子、日月光、力成科技和硅品等，在手艺开辟标的目的已由晶圆级制程转向面板级封装制程。 Manz亚智科技具有壮大的开辟团队，多年来一向为面板级利用（如显示器和印刷电路板行业）供给湿制程处置解决方案，在多种制程功能和主动化整合上堆集了很多成功经验。在面板级扇出型封装出产制程中，载板翘区几近是所有相干装备城市面对的问题，也关系到产能和制程良率。 Manz亚智科技供给输送类型（Conveyor type）的湿制程装备，怪异的载板翘区压抑设计，得以包管载板在传输进程保持平整，削减破片率。经由过程非凡喷嘴设置装备摆设和喷盘摆念头制到达化学品精准流量和温度节制，可搭配在线及时浓度监控系统，进行新化学液添加，保持制程的不变和化学品的利用寿命耽误，同时下降化学品耗用量，不但确保制程对均一性的高尺度需求，更到达下降本钱的综效。 图四：Manz化学湿制程装备优良的槽体设计和风美金吹干能力，使得制程均一性高 Manz 出产装备解决方案具体优势： · 定制化产物: 面板级扇出型封装为业界新需求，装备规格还没有有配合尺度，例如面板尺寸、制程前提等，Manz可共同客户需求而供给最合适的定制化机台设计。 · 主动化整合: 搭配机械手臂或主动化起落平台传输面板进出制程槽体，到达全主动出产流程。 · 在线式（In-Line）系统设计: 输送带传输机台搭配制程前提调剂面板产出，产能输出优在其他情势批次式机台。 · 专利机械压抑设计: 针对面板级扇出型封装，因为, Manz怪异载板翘区压抑设计，降服芯片从头设置装备摆设在面板上所发生载板翘区问题，传输进程保持面板平整，到达最好制程成果。 Manz亚智科技总司理兼显示器事业部主管林峻生暗示：“数十年来，Manz亚智科技在显示器行业的出产装备解决方案一向深获客户相信，装备发卖实绩在2017年已跨越3,000台的总量，证实我们的实力。此次为面板级扇出型封装推诞生产装备解决方案，意味着Manz正式跨入半导体系体例造范畴，瞻望2018年在此新的范畴能有新的斩获，协助客户以更优化的出产效力并有用下降出产本钱。” Manz团体 – 热忱成绩高效能 Manz 团体为活跃全球的高科技装备制造商，总公司位在德国罗伊特林根，是高成长市场上立异产物的前驱。1987 年成立的Manz 公司，专精在五种手艺范畴，包括主动化、测试与检测手艺、激光工艺、化学湿制程、和卷对卷手艺，这些焦点手艺将利用在Manz 在“电子装配和零组件”、“太阳能”和“储能”三年夜策略范畴的手艺扩大，并将在将来延续向前成长。Manz 团体在2006 年在德国公然上市，在德国、斯洛伐克、匈牙利、意年夜利、中国年夜陆和中国台湾皆设有本身的出产据点，而Manz 团体的营业发卖和办事收集遍及全球，包罗美国和印度。在公司宣言“热忱成绩高效能”的鞭策下，Manz 许诺将来会为各类重点财产的客户，供给更高效能的出产系统解决方案。作为世界领先的装备制造商，Manz 为其全球浩繁客户下降终端产物的出产本钱作出了庞大进献。
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